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技術コラム

エア抜きキャップボルトとは?製造方法や製品事例についてご紹介!

名称と用途

エア抜きキャップボルトとは?

エア抜きキャップボルトとは?

エア抜きキャップボルトとは、半導体の製造などに用いられる真空装置において、ガス抜きが必要な時に使われるボルトです。こちらは真空装置本体とねじの間に溜まる空気を抜くために貫通穴が設けられている点が特徴です。海外ではエアーベントという表現でも流通しており、当社では、インチ等でも対応が可能です。

エア抜きキャップボルトの材質

エア抜きキャップボルトの材質としては、

・ステンレス
・鉄

という金属類が基本的に選定されます。 以下で、それぞれの材質の特徴について説明いたします。

ステンレス(SUS)

ステンレスは鉄(Fe)を主成分として、クローム(Cr)やニッケル(Ni)などを組み合わせた鋼合金鋼です。 ステンレスは非常に錆びにくいという性質を持っているうえに、機械的強度も高いという特徴を持っています。
エア抜きキャップボルトは主にクリーンルームと呼ばれる空気清浄度が確保された防塵室で使用されることが多いため、雑菌などを発生させないステンレスが用いられることが多くあります。また、ねじ業界ではSUS304相当のXM-7材がもっとも流通しております。

鉄(Fe)

鉄は生産量が多く、安価に購入できるうえに、機械的強度が強く、加工性に優れているという特徴を持っています。
エア抜きキャップボルトは貫通穴を加工する必要があるため、加工性に優れている点が評価され、鉄が用いられることもあります。
キャップボルトですと一般的には熱処理をしますが、熱処理前に穴加工をし、その後熱処理するという工法をお勧めしております。熱処理品を加工する場合は、SUS以上に苦労するため、コストにも悪影響を及ぼします。ご使用方法やご使用環境から最適な仕様をご提案させてください。

エア抜きキャップボルトの加工方法

一般的にエア抜きキャップボルトは、細穴放電加工機やドリルを用いて加工されます。細穴放電加工とは、棒状やパイプ状の電極を用いて放電の火花でボルトを溶かしながら穴を開けていく加工方法です。火花で溶融するため、ボルトと非接触で加工ができ、ドリルなどの切削では実現できない細い穴の加工を可能にしていますが、一方で価格は高価になります。

当社の加工方法

特殊ネジ・リベット製造.comを運営する株式会社カネコでは、LFV(低周波振動切削)技術を有した機械を導入することで細穴かつ深穴の加工を実現しています。

この機械は、2方向の軸を切削方向に振動させ、その振動を主軸回転と同期させながら切削を行います。また、切削中に意図的に切削しない時間を設けることにより、切りくずを細かく分断しながら加工を行うことができます。 この技術の特徴としては、以下のようなことがあげられます。

・1㎜径での切削など、多種多様な形状の加工に対応可能
・振動を制御することでSUSなどの難削材への細穴、深穴加工が可能

この技術を用いることで、多くの加工に対応しています。また、当社では試作対応なども可能ですのでお気軽にご相談ください。

1㎜径での切削など、多種多様な形状の加工に対応可能

LFVは穴開け加工の際に良く用いられ、分断した細かい切りくずをドリルの溝を通して排出するため、ステッピング回数を大幅に削減しつつ、ワークを傷つけずに加工を行います。
また、φ1mmを残す微細加工にもご対応が可能です。

振動を制御することでSUSなどの難削材への細穴、深穴加工が可能

振動を変化させ、ワーク1回転あたりの振動回数を増減することで、上記のように切りくずを細かく分断することができます。
また、1振動あたりのワーク回転量を変化させることで、小径深穴加工にも対応することができます。
エア抜きキャップボルトに限らず、当社では、細穴、深穴加工の実績が多数ありますので、お気軽にご相談ください。

当社のエア抜きキャップボルトの製品事例紹介

続いて、実際に当社で製造したインチネジに関する当社の事例をご紹介いたします。

SUSエア抜きキャップボルト(事例1)
SUSエア抜きキャップボルト(事例1)

一般的に、エア抜きキャップボルトの穴あけ加工は10d(穴の直径の10倍)ぐらいまでが限界とされていて、こちらの製品は長さが30mmを超えており非常に長いため、穴開け加工が非常に難しいです。

そこで、深穴(細穴)専用の低周波振動切削機を用いて加工を施すことで、深い穴開け加工を実現しています。

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特注エア抜きキャップボルト(事例2)
特注エア抜きキャップボルト(事例2)

当製品は強度を保ちつつ空気を抜くためにネジに貫通穴をあけていることが特徴です。そのために高い耐食性を誇るSUS材に細穴深穴加工を施しています。

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ネジ・リベット・段付きボルトに関するお困りごと、なんでも解決いたします!

ネジ・リベット・段付きボルトに関するお困りごと、なんでも解決いたします!

特殊ネジ・リベット製造.comを運営する株式会社カネコは、ネジの2次加工と冷間鍛造における日本屈指のプロフェッショナルとして、様々な特殊ネジや特注リベットの製造・2次加工を行ってきました。また当社は、全国各地にあるネジ加工のサプライヤーと構築した強固なネットワークを保有しています。そのため、当社によるVA/VE提案をするだけでなく、最適なネジ加工のサプライヤーも踏まえたコストダウン提案をすることができるため、お客様に最適な商品をお届けすることが可能となっております。

つまり当社では、加工技術にあまり詳しくないネジ商社と比較して、より安く、よりお客様のご要望に沿った締結部品を提供することが可能となり、これらの理由から大手メーカー様からも支持されてきました。

さらにカネコでは、製品の熱処理やメッキ処理、全数検査まで対応しております。当社では業界に先駆けて、画像処理選別機を開発・導入し、TS16949/ISO9001などの国際標準基準に対応した最新の検査システム開発を行っています。この最新検査システム「View Checker」では最大4台のカメラを内蔵し、1台あたり1/60秒の超高速画像処理を実現しています。4台のカメラでは、128ヵ所の計測と256ヵ所の特徴抽出を1秒間に15回行う能力があり、最小で±0.02㎜の寸法公差にもなる高精度検査にも対応します。
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